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HQ-RTS-L系列 紅外光學(xué)溫度計(jì)

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HQ-RTS-L系列 紅外光學(xué)溫度計(jì)

HQ-RTS-L系列在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有更高優(yōu)勢(shì)。 

HQ-RTS-L紅外溫度計(jì)采用高度敏感的電子器件及光學(xué)系統(tǒng),可以使用更短波長的探測(cè)器來測(cè)量輻射能,減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差。此外,紅外溫度計(jì)的高速采集和高分辨率對(duì)于控溫和噪聲抑制起到很好的作用,進(jìn)而對(duì)晶圓溫度監(jiān)控和生產(chǎn)工藝的提升能得到很好的幫助。

應(yīng)用案例

性能參數(shù)


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